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吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

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[吉致動態(tài)]國產(chǎn)替代|吉致電子硅片CMP拋光液Slurry[ 2025-06-10 15:10 ]
一、CMP拋光技術(shù):半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵工藝化學(xué)機械拋光(Chemical Mechanical Planarization, CMP)是半導(dǎo)體硅片制造的核心工藝之一,直接影響芯片性能與良率。在硅片加工過程中,CMP通過化學(xué)腐蝕與機械研磨的協(xié)同作用,實現(xiàn)原子級表面平坦化(粗糙度<0.2nm),滿足先進(jìn)制程對晶圓表面超潔凈、超平整的要求。吉致電子CMP拋光液的三大核心作用①高效拋光:納米級磨料(如膠體SiO2)精準(zhǔn)去除表面凸起,提升硅片平整度,減少微劃痕。②潤滑保護:特殊添加劑降低摩擦系數(shù)(<0.05),減少
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[常見問題]3C鏡面拋光液用什么拋光液[ 2022-12-09 16:18 ]
  3C產(chǎn)品表面鏡面拋光一般不采用電解拋光方式,而是選擇CMP機械拋光工藝。SiO2拋光液用于3C工件的鏡面拋光工藝,主要由納米級磨料制備而成,規(guī)格一般在10nm-150nm拋光后的產(chǎn)品鏡面精度高,表面收光細(xì)膩。  氧化硅精拋液進(jìn)行精拋工藝后,工件可以從霧面提升到鏡面透亮的效果。拋光液配合精拋皮使用,鏡面效果檢測可達(dá)納米級。3C金屬拋光液用于鏡面要求較高的工件拋光,因此必須做好前道工序。先粗拋打好基礎(chǔ),再精拋去除缺陷和不良效果。  有客戶使用二氧化硅拋光液后工件表面會產(chǎn)生麻點,這是由于
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