- [常見問題]二氧化硅拋光液與硅溶膠拋光液有啥不同[ 2023-08-11 16:04 ]
- 二氧化硅拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝制備成的一種低金屬離子高純度CMP拋光產(chǎn)品。 硅溶膠拋光液是以液體形式存在,直徑為10-150nm的二氧化硅粒子(分散相)在水或有機(jī)液體(分散介質(zhì))里的分散體系,粒子的形貌多為球形,適用于各類工件的鏡面拋光,如金屬、藍(lán)寶石襯底、半導(dǎo)體、光學(xué)玻璃、精密電子元器件等的鏡面拋光。 本質(zhì)上講二氧化硅拋光液、硅溶膠拋光液都是一種東西,主要成分都是SiO2只是叫法不同。在CMP研磨拋光工藝中,機(jī)器通過壓力泵把氧化硅拋光液輸送到拋光槽內(nèi)進(jìn)行循環(huán)使用,
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- [常見問題]如何解決氧化硅拋光液結(jié)晶問題[ 2023-05-09 17:17 ]
- 二氧化硅拋光液在拋光過程中會(huì)出現(xiàn)結(jié)晶結(jié)塊的現(xiàn)象,雖然不是大問題但如果處理不當(dāng),很可能會(huì)導(dǎo)致工件表面劃傷甚至報(bào)廢,那么怎么解決氧化硅拋光液結(jié)晶問題呢? 首先要了解硅溶膠拋光液的特點(diǎn)屬性。二氧化硅拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)水解法離子、交換法制備成的一種高純度低金屬離子型產(chǎn)品。在水性環(huán)境中容易形成一種離子網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),而一脫離了水份,表面積迅速凝結(jié)形成結(jié)晶塊,所以只要保持水分基本上是不會(huì)出現(xiàn)結(jié)晶現(xiàn)象。在實(shí)際CMP拋光工藝當(dāng)中硅溶膠拋光液會(huì)一直在研磨盤轉(zhuǎn)動(dòng)、流動(dòng),結(jié)晶情況較少。 因此氧化
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- [吉致動(dòng)態(tài)]硅溶膠研磨液--精密工件鏡面拋光效果秘密[ 2023-01-06 13:52 ]
- 吉致電子硅溶膠研磨液/拋光液采用的是納米級(jí)工藝,主要粒徑在10-150nm。適用于各種材質(zhì)工件的CMP表面鏡面處理。以硅溶膠漿料為鏡面的平面研磨的材料有半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)玻璃、3C電子金屬元件、藍(lán)寶石襯底、LED顯示屏等高精密元件。 硅溶膠拋光液也稱二氧化硅拋光液、氧化硅精拋液,SiO2是硅溶膠的化學(xué)名,適用范圍已擴(kuò)展到半導(dǎo)體產(chǎn)品的CMP拋光工藝中。 CMP拋光機(jī)可以將氧化硅研磨液循環(huán)引入磨盤,同時(shí)起到潤滑和冷卻的作用,通過拋光液和拋光墊組合拋磨可以使工件表面粗糙度達(dá)到0.2um
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- [行業(yè)資訊]半導(dǎo)體拋光液--球型二氧化硅拋光液的用途[ 2022-11-23 15:21 ]
- 球形硅微粉作為拋光液磨料,可大大提高產(chǎn)品的剛性、耐磨性、耐候性、抗沖擊性、耐壓性、抗拉性、阻燃性、良好的耐電弧絕緣性和耐紫外線輻射性。讓我們來看看球型二氧化硅拋光液在電子芯片中的一些應(yīng)用。 精密研磨粉高純球形硅粉用于光學(xué)器件和光電行業(yè)的精密研磨,特別適用于半導(dǎo)體單晶多晶硅片、顯像管玻殼玻屏、光學(xué)玻璃、液晶顯示器(LCD、LED)玻璃基板、壓電晶體、化合物半導(dǎo)體材料(砷化鎵、磷化銦)、磁性材料等半導(dǎo)體行業(yè)的研磨拋光。 吉致電子用高純球形硅粉制備成的超高純硅溶膠拋光液slurry,
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- [常見問題]CMP拋光液中磨料對(duì)拋光效果的影響[ 2022-08-30 15:49 ]
- 磨料對(duì)拋光效果的影響在CMP拋光過程中磨料的作用是借助機(jī)械力,通過化學(xué)反應(yīng)去除工件或晶圓表面形成的鈍化膜,從而達(dá)到表面平坦化的目的。CMP拋光液常用的磨料有硅溶膠SiO2、氧化鋁Al2O3、氧化鈰CeO2、金剛石等。磨料的種類磨料的種類和材質(zhì)決定了拋光液中微粒的硬度和粒徑,從而影響拋光效果。拋光鋁合金工件實(shí)驗(yàn)中相對(duì)于氧化鋁拋光液Al2O3磨料,氧化硅拋光液SiO2磨料能獲得較好的表面平整度、更少的表面劃痕和更小的尺寸。原因是硅溶膠拋光液SiO2磨粒尺寸較小,拋光時(shí)磨料嵌入晶圓表面的深度較小。 此外,通過優(yōu)
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- [常見問題]吉致電子硅溶膠拋光液的適用范圍[ 2022-08-19 15:44 ]
- 硅溶膠拋光液又稱氧化硅拋光液,通過離子交換法和水解法制備不同粒徑的穩(wěn)定硅溶膠,經(jīng)過鈍化添加化學(xué)助劑和特殊工藝配制成的二氧化硅拋光漿料,廣泛應(yīng)用于集成電路半導(dǎo)體、特殊材料、金屬工件、脆硬鏡面的拋光。吉致電子25年CMP拋光液生產(chǎn)廠家,可根據(jù)客戶不同工藝要求定制調(diào)整拋光漿料。氧化硅拋光液主要適用范圍:1.可用于玻璃陶瓷的表面拋光。2.用于硅片和IC加工的粗拋和精拋,適用于大規(guī)模集成電路多層膜的平坦化。3.用于半導(dǎo)體元件的加工,如晶圓后道CMP清洗、光導(dǎo)攝像管、多晶化模塊、平板顯示器、微電機(jī)系統(tǒng)等。4.廣泛應(yīng)用于CMP化
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- [吉致動(dòng)態(tài)]鏡面拋光液---氧化硅拋光液在拋光中的作用[ 2022-08-12 14:17 ]
- 鏡面拋光液的主要材料是納米二氧化硅磨料,制備成的液體漿料也稱為硅溶膠拋光液。二氧化硅拋光液主要適用于拋光藍(lán)寶石襯底、硅片、半導(dǎo)體、精密電子工件、晶體等產(chǎn)品。二氧化硅拋光漿料主要利用硅膠離子的高速拋光來達(dá)到表面處理的效果。二氧化硅是用納米技術(shù)制成的。根據(jù)工件拋磨要求,可制備出不同切削力的產(chǎn)品達(dá)到鏡面拋光。粒度控制可以有效減少電子工件上的污垢,使用納米級(jí)硅膠顆粒加工工件,不會(huì)損傷工件,同時(shí)還能達(dá)到理想效果氧化硅拋光液需要配合精拋墊使用,精拋墊的主要成分是聚氨酯,聚氨酯的眾多孔隙可以將拋光液均勻地粘在其表面,與工件一起研
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- [吉致動(dòng)態(tài)]氧化硅拋光液的結(jié)晶問題[ 2022-08-12 13:25 ]
- 氧化硅拋光液長時(shí)間暴露在空氣中,會(huì)使水分蒸發(fā)剩下固體氧化硅,造成硅晶體析出現(xiàn)象,稱之為結(jié)晶。在實(shí)際應(yīng)用時(shí),硅溶膠拋光液會(huì)一直在磨盤內(nèi)旋轉(zhuǎn)循環(huán)及流動(dòng),結(jié)晶現(xiàn)象較少,但是高溫或拋光液濃度沒有配置好,會(huì)造成團(tuán)聚,損傷工件,影響拋光效果。根據(jù)二氧化硅的特性,吉致電子拋光液廠家開發(fā)了抗結(jié)晶納米二氧化硅拋光液,可以長時(shí)間保持氧化硅穩(wěn)定液體狀態(tài)。拋磨工件時(shí)易搖散且不團(tuán)聚,化學(xué)性能穩(wěn)定分散均勻,氧化硅精拋液拋光效率高,能有效縮短工時(shí),磨拋后工件呈現(xiàn)鏡面效果,無劃傷、高平坦。 外需要注意的是,氧化硅拋光液的
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- [行業(yè)資訊]吉致電子--拋光液的主要成分和功能有哪些?[ 2022-07-22 16:52 ]
- 拋光液的主要成分可分為以下幾類:氧化鋁拋光液、氧化鈰拋光液、金剛石研磨液(聚晶鉆石拋光液、單晶金剛石拋光液、納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液、碳化硅拋光液。 硅溶膠拋光液(氧化硅拋光液)是以高純硅粉為原料,通過特殊工藝(如水解法)生產(chǎn)的高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。廣泛應(yīng)用于多種納米級(jí)材料的高平坦化拋光,如硅晶片、鍺晶片、砷化鎵、磷化銦等化合物半導(dǎo)體材料、精密光學(xué)器件、藍(lán)寶石襯底、藍(lán)寶石窗口等。 金剛石拋光液以金剛石微粉為主要成分,高分散配方,硬度高韌性好,有良好的高切削率,不易
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- [行業(yè)資訊]CMP拋光技術(shù)在半導(dǎo)體和藍(lán)寶石工件中的應(yīng)用[ 2022-07-05 15:08 ]
- 藍(lán)寶石襯底拋光用什么工藝可以實(shí)現(xiàn)?LED芯片又是怎么實(shí)現(xiàn)表面拋光平整的?吉致電子拋光液小編帶您了解!目前LED芯片主要采用的襯底材料是藍(lán)寶石,在加工過程中需要對(duì)其進(jìn)行減薄和拋光。藍(lán)寶石的硬度高,普通磨料難以對(duì)其進(jìn)行加工。在用金剛石研磨液對(duì)藍(lán)寶石襯底表面進(jìn)行減薄和粗磨后,表面不可避免的有一些或大或小的劃痕。CMP拋光液利用"軟磨硬"的原理很好的實(shí)現(xiàn)了藍(lán)寶石表面的精密拋光。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,聚晶金剛石研磨液及二氧化硅溶膠拋光液的需求也與日俱增。CMP技術(shù)還廣泛的應(yīng)用于集成電路(IC)和大規(guī)模
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- [常見問題]氧化硅拋光液顏色的區(qū)別[ 2022-06-23 13:42 ]
- 吉致電子氧化硅拋光液的顏色有白色、乳白色和淺藍(lán)色。硅溶膠拋光液顏色不同,其二氧化硅含量和用途也不一樣。一般來說,二氧化硅拋光液顏色越藍(lán),濃度越高,粒度越細(xì)。濃度降低顏色就會(huì)變白,但是含量過低也會(huì)變白,這個(gè)要做濃度測試才能判斷。二氧化硅拋光液的顏色不同,拋光工件的類型和粒度也不同。一般鑄造鋁合金的液態(tài)二氧化硅是藍(lán)色的,且藍(lán)色比較透明,這樣的氧化硅粒徑較小,因?yàn)殇X合金鏡面的光澤度要求更高。一般來說,工件光澤度要求越高,拋光耗材的粒度越小,這就決定了鋁合金拋光液粒度要達(dá)納米級(jí)別的原因。拋光不銹鋼金屬的氧化硅溶液一般為乳白
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