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SiC碳化硅襯底研磨拋光產品

產品分類: 按產品分類
    吉致電子·碳化硅研磨拋光·半導體晶圓拋光
    產品名稱:碳化硅研磨液/碳化硅拋光液/碳化硅SIC研磨墊/Sic精拋墊
    產品特點:Politex拋光墊FUJIBO拋光墊國產替代
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    精密陶瓷拋光液 CMP納米級拋光液
    精密陶瓷拋光液 CMP納米級拋光液
    吉致電子·精密陶瓷件拋光液·半導體拋光液
    產品名稱:氧化鋯拋光液/氧化鋁拋光液/氮化硅拋光液/氮化鋁拋光液
    產品特點:適用于碳化物、氮化物、氧化物和硼化物各精密陶瓷件的鏡面拋光
    阻尼布拋光墊/碳化硅精拋墊/Politex拋光墊FUJIBO拋光墊替代
    阻尼布拋光墊/碳化硅精拋墊/Politex拋光墊FUJIBO拋光墊替代
    吉致電子拋光墊
    產品名稱:碳化硅精拋墊/阻尼布拋光墊/絨面拋光墊
    產品厚度:0.6mm-3mm(可定制)
    產品直徑:φ300-φ1300mm(可定制)
    產品特點:Politex拋光墊FUJIBO拋光墊替代
    半導體拋光液 鈮酸鋰LiNbO3晶圓拋光液
    半導體拋光液 鈮酸鋰LiNbO3晶圓拋光液
    產品名稱:鈮酸鋰晶體拋光液/鈮酸鋰拋光漿料/LN拋光液
    磨料類型:SiO2/Al2O3/CeO2/ZrO2
    磨料粒徑:專利化學配方/可定制

      碳化硅襯底研磨拋光·工藝吉致電子,CMP拋光材料 可定制·速率高·效果好·專利配方CUSTOMIZABLE, HIGH SPEED, GOOD EFFECT AND PATENTED FORMULA碳化硅研磨拋光工藝 拋光液 研磨液

      產品分類:吉致電子·碳化硅研磨拋光·半導體晶圓拋光

      產品名稱:碳化硅研磨液/碳化硅拋光液/碳化硅SIC研磨墊/Sic精拋墊

      吉致電子針對碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號研磨液、拋光液拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)。在研磨和拋光應用中提高碳化硅襯底表面質量,同時顯著提高材料去除率。

      產品工藝及用途:適用于SiC碳化硅襯底DMP和CMP工藝制程,有效提升效率以及良率,碳化硅拋光液/拋光墊實現國產化替代。

      碳化硅工藝流程(水?。?jpg


      碳化硅SiC研磨工藝·粗研磨/精研磨

      吉致電子SIC襯底CMP粗磨/精磨工藝:Tip1粗磨液+研磨墊,Ra可達1.22nm及以下;Tip2精磨液+研磨墊,Ra可達0.45nm及以下。

      碳化硅SiC拋光工藝·粗拋光/精拋光

      碳化硅粗拋精拋

      吉致電子SIC襯底CMP粗拋/精拋工藝:Tip3粗拋液+研磨墊,Ra可達0.13nm及以下;Tip4精拋液+精拋墊,Ra可達0.06nm及以下。


      想了解更多碳化硅CMP拋光工藝參數與方案,歡迎來電咨詢

      碳化硅研磨拋光工藝產品推薦及參數.jpg


      吉致電子SiC碳化硅拋光液儲存方法:

      通風,陰涼,干燥的庫房,本品需在5-35℃儲存,防止陽光直射及凍結,零度以下因產生不可再分散結塊而失效。

      吉致電子CMP拋光液/Slurry拋光液價格:

      吉致電子的CMP金屬拋光液生產技術是引進國外生產技術和設備,特殊化學配方制備而成。吉致電子拋光液品質可以媲美進口同類產品。

      本土化生產的優(yōu)勢使吉致電子CMP拋光液產品交貨周期快,品質好,拋光液價格實惠親民。

      吉致電子CMP拋光耗材適用范圍

      吉致電子科技有限公司擁有成熟的加工工藝和先進的生產設備,為不銹鋼、銅、鋁、陶瓷、導光板、五金產品、藍寶石、光學玻璃等各類拋光加工服務。為您提供可靠有效的拋光解決方案!

      吉致電子研發(fā)團隊--15年經驗CMP拋光液配方工程師,為您攻克拋光難題!

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      磨料類型:SiO2/Al2O3/CeO2/ZrO2
      磨料粒徑:專利化學配方/可定制

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