藍(lán)寶石拋光液是不是二氧化硅拋光液
藍(lán)寶石拋光液是不是二氧化硅拋光液?
藍(lán)寶石拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝制備成的一種低金屬離子CMP拋光液,是一種高純度的氧化硅拋光液,廣泛應(yīng)用于多種材料的納米級高平坦化拋光,是Wafer減薄拋光液拋光漿料slurry。
吉致電子生產(chǎn)的藍(lán)寶石拋光液主要用于藍(lán)寶石襯底研磨減薄,藍(lán)寶石A向拋光液,藍(lán)寶石C向拋光液等。拋光范圍如:硅片、鍺片、化合物晶體磷化銦、砷化鎵、精密光學(xué)器件、寶石飾品、金屬鏡面等研磨拋光加工。
藍(lán)寶石拋光液Sapphire Slurry的特點(diǎn):
1.高純度(Cu含量小于50 ppb),有效減少對電子類產(chǎn)品的污染。
2.高拋光速率,利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達(dá)到高速拋光的目的。
3.高平坦度加工,藍(lán)寶石CMP拋光液是利用SiO2的膠體粒子進(jìn)行拋光,不會對加工件造成物理損傷,達(dá)到高平坦化加工。
藍(lán)寶石拋光液根據(jù)pH值的不同可分為酸性拋光液和堿性拋光液,吉致電子研發(fā)工程師可根據(jù)客戶具體需求定制配液,達(dá)到理想拋光效果。
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